新聞詳情
RTP快速退火爐在半導(dǎo)體合金化退火中的好處
- 分類： 行業(yè)知識
- 作者：管理員
- 來源：本站
- 發(fā)布時間：2024-07-19
- 訪問量： 609
【概要描述】快速退火爐作為一種快速熱處理設(shè)備，在半導(dǎo)體工藝中扮演著至關(guān)重要的角色，特別是在合金化退火過程中，可讓···
RTP快速退火爐在半導(dǎo)體合金化退火中的好處
【概要描述】快速退火爐作為一種快速熱處理設(shè)備，在半導(dǎo)體工藝中扮演著至關(guān)重要的角色，特別是在合金化退火過程中，可讓···
- 分類： 行業(yè)知識
- 作者：管理員
- 來源：本站
- 發(fā)布時間：2024-07-19
- 訪問量： 609
詳情
快速退火爐作為一種快速熱處理設(shè)備，在半導(dǎo)體工藝中扮演著至關(guān)重要的角色，特別是在合金化退火過程中，可讓電極與半導(dǎo)體間有良好的歐姆接觸，有利于克服金屬與半導(dǎo)體界面的肖特基勢壘，減小歐姆接觸電阻，確保I-V曲線呈線性。
一、合金化退火的目的
合金化熱處理之前往往會先進行鍍電極的工藝，從而不可避免的會產(chǎn)生接觸電阻。在決定器件/芯片性能的因素中，寄生電阻是必須解決的因素，因為它對性能的影響最大。隨著器件尺寸變小，寄生電阻變得大于溝道電阻，讓接觸電阻占據(jù)了寄生電阻元件的最大部分。嘉儀通RTP快速退火爐通過快速熱退火作用，使沉積在接觸區(qū)域的金屬層與半導(dǎo)體材料（如硅）發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成金屬硅化物層。這一過程可以有效降低了金屬與半導(dǎo)體之間的接觸電阻，提高半導(dǎo)體器件的性能。
二、合金化退火的好處
降低接觸電阻：合金化退火顯著降低了金屬與半導(dǎo)體界面的接觸電阻，從而減少了寄生電阻，提升了器件的整體性能。
增強電流負載能力：由于接觸電阻的降低，器件能夠承載更大的電流密度，提高了其在實際應(yīng)用中的電流負載能力。
提高黏合性與電接觸性能：合金化層增強了金屬與晶圓表面的黏合性，同時優(yōu)化了電接觸性能，確保了器件的長期穩(wěn)定性和可靠性。
改善薄膜質(zhì)量：快速退火有助于形成均勻、無空洞和小丘的薄膜，提高了材料的純度和耐腐蝕性。
促進圖形化工藝：合金化層的形成有利于后續(xù)的圖形化工藝，使得制造過程更加高效和精確。
三、材料性能的表征方式
為了評估合金化退火后的材料性能，通常采用多種表征方式，包括但不限于：
外觀及材料內(nèi)部形貌：通過電子顯微鏡觀察材料的表面形貌和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，以判斷合金化層的均勻性和質(zhì)量。
方阻值測試：利用方阻測試儀測量材料的方阻值，以評估其導(dǎo)電性能。
電學(xué)性能測試：采用源表等設(shè)備測試材料的電學(xué)參數(shù)，如電阻率、載流子遷移率等，以全面了解其電學(xué)性能。
四、影響合金化退火的關(guān)鍵工藝參數(shù)
溫場均勻性：溫場的均勻性直接影響晶圓表面的合金化效果，尤其是邊緣區(qū)域的均勻性更為重要。
工藝溫度：合適的工藝溫度是確保合金化反應(yīng)充分進行的關(guān)鍵，過高或過低的溫度都可能導(dǎo)致不良后果。
真空度：高真空環(huán)境可以防止空氣混入，減少雜質(zhì)對合金化過程的影響。
氣氛及壓力：氣氛和壓力的選擇需根據(jù)具體材料而定，以確保合金化反應(yīng)的順利進行和溫場的穩(wěn)定性。
溫度重復(fù)性（穩(wěn)定性）：多次退火過程中溫度的穩(wěn)定性對于保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性至關(guān)重要。
嘉儀通RTP快速退火爐系列產(chǎn)品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實現(xiàn)對實驗材料的快速升溫和降溫，同時搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達到高溫場均勻性，對材料的快速熱處理、快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。
關(guān)鍵詞：
掃二維碼用手機看
相關(guān)資訊
在線留言
WRITE A MESSAGE TO US
客戶留言
描述：
熱門資訊
-
- 中國計量院專家蒞臨嘉儀通，共話薄膜變溫霍爾測試技術(shù)新未來 2025-03-12 15:22:59
- 冷熱臺聯(lián)用拉力傳感器測試防冰/疏冰涂層材料的冰粘附強度 2025-03-05 14:26:17
- 液氮低溫恒溫器聯(lián)用源表測試熱敏熱電材料變溫電導(dǎo)率 2025-02-28 10:42:03
- 冷熱臺聯(lián)用拉曼光譜儀測試硫化鉬的變溫拉曼光譜 2025-02-18 15:24:53
- 液氮低溫恒溫器聯(lián)用常溫霍爾效應(yīng)測試儀測變溫載流子濃度案例 2025-01-23 10:26:18
- 嘉儀通快速退火爐-合金化退火介紹 2025-01-16 16:45:03
我們的產(chǎn)品
公司多年來秉持互惠共贏的原則與全國各地客戶開展貿(mào)易合作往來
